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微型退火炉(MiniRTA-one)
微型退火炉 MiniRTA-one，是一款实验室用小型快速退火炉，采用革新的加热技术，可实现真正的材料快速热处理，温控精度高，重复性均匀性好，升降温速度快，体积小巧，安全性强，非常适合实验室使用。
所属分类:
退火炉系列
关键词:
产品介绍
微型退火炉 MiniRTA-one，是一款实验室用小型快速退火炉，采用革新的加热技术，可实现真正的材料快速热处理，温控精度高，重复性均匀性好，升降温速度快，体积小巧，安全性强，非常适合实验室使用。
产品特点
● 快速加热和降温 最高可控升温速率可达 80 ℃/s。冷壁水冷设计能够达到较大的降温速率，特定条件下可达 25 ℃/s。
● 精确控温 采用工业级温控器进行 PID 精确控温，目标温度与设定温度曲线一致性高，可实现室温至 1300 ℃的温度精确控制。
● 适应多种工艺环境 满足多种工艺气氛下的热处理（氮气、氩气等）。同时，通过选配真空泵，可以在真空条件下进行退火，最高真空度可达 10-3Pa。
应用领域
● 硅片快速热处理
● 晶化/快速结晶处理
● 离子注入退火
● 铁电介电材料热处理
● 半导体薄膜热处理
● 去除热应力
● 其他真空气氛热工艺要求状态
技术参数
| 型号 | MiniRTA-one |
| 温度范围 | RT~1300℃ |
| 最大升温速率 | 0~80℃/s |
| 降温速率 | 0~25℃/s |
| 控温精度 | 0.1℃ |
| 样品尺寸 | 25×50mm |
| 程序段 | 50 |
| 真空度 | E-03hPa@旋片泵 E-06hPa@分子泵 |
| 气氛 | 支持多气路，HMI设定，自动混气 |
| 人机界面 | 7吋HMI触摸屏 |
| 设备重量 | 20Kg |
| 设备尺寸 | 7KW |
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